Наибольшее влияние на размерные характеристики реза оказывают энергетические параметры, т. е. мощность и плотность мощности. В результате увеличения мощности эффективность процесса возрастает в меньшей степени, чем в результате увеличения плотности мощности (т. е. уменьшения диаметра пятна нагрева).

Глубина прорезания при постоянной скорости возрастает с увеличением плотности мощности, однако качество реза при этом не всегда сохраняется, т. е. увеличение мощности источника не гарантирует получения требуемых результатов резки.

Например, на углеродистых сталях с увеличением скорости резки глубина прорезания снижается, а утоньшение фокального пятна вызывает возрастание глубины качественно выполненного реза.

Основной причиной такого роста глубины реза является повышение плотности мощности в зоне обработки. Поэтому при резке углеродистых сталей необходимо стремиться к фокусировке излучения в пятно меньшего диаметра.

Для нержавеющих сталей глубина реза возрастает с уменьшением диаметра пятна фокусировки; одновременно понижается качество реза.
Глубина качественно выполненного реза для низких скоростей выше на увеличенном диаметре пятна.

Это явление объясняется различным сопротивлением канала реза удалению расплава из зоны обработки при различных условиях фокусировки: при меньшем диаметре пятна ширина канала реза меньше, вследствие чего расплав металла, обладающий высокой вязкостью, труднее удаляется из более узкого канала.

Для высоких скоростей резки, когда разрезается материал толщиной 1—2 мм, характерно увеличение глубины прорезания при повышении плотности мощности путем увеличения мощности излучения.

Для титановых сплавов сохраняются те же закономерности, однако при снижении плотности мощности в результате изменения условий фокусировки наблюдается значительно более резкое снижение глубины прорезания металла. Максимальная глубина качественно выполненного реза в данном случае соответствует скорости резки 1,5—2 м/мин. При этих скоростях ограничений по мощности для титановых сплавов нет.

В результате одинаковую глубину качественной резки для титана можно получить как при высоких плотности мощности и скорости резки, так и при низких значениях этих параметров. Технологически предпочтителен первый режим.

Ширина реза снижается с уменьшением диаметра пятна фокусировки на всех группах металлов.